摘要：超纯水的制备通常只以电阻率来进行水质监控。这种制备方法需要若干步骤。本地用水为纯化水源时，必须在最终精制之前对其进行预处理。

纯化的初始步骤包括ＤＩ（去离子技术）或者ＲＯ（反渗透）／ＥＤＩ（连续电流去离子技术）联用。尽管通过这两种技术都能获得电阻率较高的超纯水，但是当能更精确地监控超纯水质量的ＴＯＣ（有机碳总量）也被列入考查指标的时候，不同制备技术得到的超纯水水质之间的差异就突显出来了。由于ＴＯＣ偏高，选用去离子技术（ＤＩ）进行预处理需要更加严谨的维护和操作。


而且，树脂再生之后使用，容易导致有机物脱落进入离子交换精制介质，甚至进入后面的过滤器，进而影响、削弱整个系统的效率、可靠性和使用寿命。


制备超纯水是通过一系列纯化技术的结合实现的。纯化过程中的每一步骤都力求最优化，以便（有针对性的）去除不同类型的杂质，甚至包括很不常见的特殊物质。


超纯水生产线有３个单元：初始纯化系统、储存容器和最后的精制系统。初始纯化系统可以纯化井水或自来水。在此环节，可以使用去离子技术、蒸馏技术或者反渗透技术。蒸馏虽然可以有效去除很多类型的杂质，但能耗太大且生产速度慢，需要在使用前长时间的贮存，这就难以保证水质了。去离子技术看似是一个最简单和成本最低的方法，但是水质不稳定，当去离子树脂饱和时会发生波动。该技术主要用于去除离子，而对其他污染物，例如有机物及微小颗粒，则效率较低。这两种水纯化技术提供的水，经过进一步的精制去除残留的痕量污染物以后，能满足许多应用。


但是初始纯化技术不过硬，不仅会使最后精制步骤中出现水质量问题，而且会缩短超纯水器的使用寿命。


本研究主要显示了不同的预处理方法对制备超纯水质量的影响。逐个分析了纯化组件对污染物不同的作用。


实验 纯化步骤


自来水给水（Ｍｉｔａ Ｔｏｋｙｏ），通过两种不同的预处理系统（如图１所示）处理后 由Ｍｉｌｌｉ－Ｑ Ａｃａｄｅｍｉｃ（Ｍｉｌｌｉｐｏｒｅ）进行精制：


Ａ系统由通过去离子柱纯化的水供水（５升混床去离子树脂）。当处理系统出水的电阻率低于１ ＭΩ·ｃｍ时，用再生树脂更换去离子柱填料。