CPC直线导轨对机械设备的目标是追求加工效率、成本与精度的结合，我们为了实现这一个目标，需要研究并且开发关键性的技术，那就是“加工精度在线测量”，尤其是在多品种小批量的生产因素下，研究出先进的在线测量技术意义性质非常重大，因为在线测量是加工测量一体化技术的重要组成部分，是保障传动零部件质量以及提高生产效率的重要手段。

目前在国外就已经很早认识到了这种在线测量技术的重要性，从而对其进行了大量的研究探讨，并且在生产实际运行过程中得到了广泛的应用。机械传动元部件加工精度的在线测量方式分为下列两种情况：

1.在加工过程当中直接测量工件的加工表面，当加工过程结束后，方能得够得到所需要的精度指标系数，通常情况下这是对在线测量技术上较为理想的状态；

2.当加工过程结束后，其工件依然需要安装在机床上，选用合理的测量仪器对工件进行测量。在超精密加工中，热变形对加工精度的影响是不能够忽视滴，所以在加工过程中保持恒温、油淋浇或切削液冷却是必然的，然而冷却液与元部件在转速高的条件下，测量精度能够达到0.01μm的传感器，以目前水平没有滴。

所以我们在进行对CPC导轨滑块超精密加工时，对传动零部件加工精度的检测主要是采用传统的离线测量方式，不过离线测量的费用在绝大多数情况下，都有可能是超过机械零部件的加工费用。